全球半导体设备：近年来，全球半导体产业产能扩张仍在继续，对半导体设备的需求稳定增长，全球半导体设备销售的增速明显。根据SEMI的统计，2021年全球半导体设备销售额为1,026亿美元，同比增长44.1%。

中国半导体设备：2021年，我国半导体设备市场连续增长，销售额为296.0亿美元，同比增长达58.1%，连续两年成为全球第一大半导体设备市场。根据中国电子专用设备工业协会的统计，2021年半导体设备进口46,894台，合计进口额170.5亿美元，同比分别增长84.3%和56.4%。

全球半导体检测设备：2016年至2020年全球半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为12.6%，其中2020年全球市场规模达到76.5亿美元，同比增长20.1%。

中国半导体检测设备：2016年至2020年我国半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为31.6%，其中2020年我国半导体检测与量测设备的市场规模为21.0亿美元，同比增长24.3%。

应用领域：半导体。

引线框：

1、非接触式测量IC表面结构，以避免损坏表面。

2、可用于批量生产过程中大量固定位置的跟踪测量。

3、要求提供地面地形测绘报告。

4、将不同的传感器集成在系统中，白光干涉仪测量三维表面结构，光学传感器测量二维尺寸。

5、使用 twin-head光学系统：自动聚焦光学系统，用于高倍光学测量；传统光学系统用于建立物体坐标系。

6、3D数据可以与同一坐标系相关联，所有3D数据可以被收集以形成完整的物体三维映射。

半导体载盘：

1、收集表面结构以避免划伤的非接触式方法。

2、需要800*800 mm载物台以满足产品尺寸。

3、需要三维激光显微镜分析表面参数（Ra，Rz，Sa，Sz，RMS...）和白光干涉仪在一台机器上采集三维表面点云。

4、客户需要建立完整的物体表面映射。

5、机械支架用于将三维激光显微镜和白光干涉仪固定在Z平台上，它还包含传统的光学系统（相机、镜头）。

6、使用Optiv Advance 863集成2个传感器，以获得足够的测量范围。

7、在一个坐标系中对3个传感器进行偏移补偿，客户可以在批量生产过程中轻松跟踪同一位置。

半导体掩模版：

1、需要测量掩模线间距0.5~1 um。

2、可重复性：线迹/空间测量中的3-sigma小于15 nm，密度/ISO（黑/白图案）不同小于15 nm。

3、需要模式匹配功能来抓取模式。

4、定位精度小于1.5um。

5、使用带有自动对焦光学系统的50倍镜头，避免了50倍镜头中自由度很短的缺点，增加了测量的可重复性。

6、利用聚光蓝环光降低光学衍射。